[無塵車間高架地板系統作用]百級以上的潔凈室要求室內空氣流形為垂直流，所以必須使用帶孔的高架地板。高架地板的作用就是把經過潔凈室頂部高效過濾器處理的空氣垂直導入地板下方的回風道，從而在潔凈室內垂直的氣流流形，高架地板下方可作為檢修空間，方便布置電氣管線、氣體管路、給排水管道。